Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 45 str.
- Kategoria: warsztaty, literatura techniczna, podręczniki, w tym dla szkoły wyższej, fizyka
Opis książki
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 27 czerwca 2023
- Data powstania:
- 2020
- Rozmiar:
- 45 str.
- ISBN:
- 978-5-7038-5369-6
- Całkowity rozmiar:
- 1 MB
- Całkowity liczba stron:
- 45
- Rozmiar stron:
145 x 205 мм
- Prawa autorskie:
- МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
"Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы