Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.
Objętość 45 stron
2020 rok
0+
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.
O książce
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».