Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Tekst PDF
Objętość 45 stron
2020 rok
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
6,84 zł
O książce
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+Data wydania na Litres:
27 czerwca 2023Data napisania:
2020Objętość:
45 str. ISBN:
978-5-7038-5369-6Całkowity rozmiar:
1.5 МБCałkowita liczba stron:
45Właściciel praw:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
