Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 397 str.
- Kategoria: literatura techniczna, pomoce dydaktyczne, elektronika
Opis książki
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 22 stycznia 2014
- Data powstania:
- 2020
- Rozmiar:
- 397 str.
- ISBN:
- 978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
- Całkowity rozmiar:
- 3 MB
- Całkowity liczba stron:
- 397
- Rozmiar stron:
125 x 200 мм
- Prawa autorskie:
- Лаборатория знаний
"Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы