Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Tekst PDF
Objętość 142 strony
2007 rok
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
35,37 zł
O książce
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Gatunki i tagi
Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Zostawiaj komentarze i recenzje, głosuj na te, które Ci się podobają.
Ograniczenie wiekowe:
0+Data wydania na Litres:
29 marca 2018Data napisania:
2007Objętość:
142 str. Całkowity rozmiar:
18 МБCałkowita liczba stron:
142Właściciel praw:
МИСиС