tekstPDFObjętość 142 strony
2007 rok
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
22,68 zł
O książce
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Gatunki i tagi
Zostaw recenzję
Zaloguj się, aby ocenić książkę i zostawić recenzję
Książka Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова i in. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+Data wydania na Litres:
29 marca 2018Data napisania:
2007Objętość:
142 str. Całkowity rozmiar:
18 МБCałkowita liczba stron:
142Właściciel praw:
МИСиС
