Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Tekst PDF

Objętość 280 stron

2012 rok

0+

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Niedostępne w sprzedaży

O książce

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka В. И. Шевякова, А. И. Мочалова i in. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
31 lipca 2014
Data napisania:
2012
Objętość:
280 str.
ISBN:
978-5-9963-2569-6
Całkowity rozmiar:
7.4 МБ
Całkowita liczba stron:
280