Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Tekst PDF
Objętość 280 stron
2012 rok
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Niedostępne w sprzedaży
O książce
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka В. И. Шевякова, А. И. Мочалова i in. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+Data wydania na Litres:
31 lipca 2014Data napisania:
2012Objętość:
280 str. ISBN:
978-5-9963-2569-6Całkowity rozmiar:
7.4 МБCałkowita liczba stron:
280Właściciel praw:
Лаборатория знаний