Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Tekst PDF

Czas trwania książki 280 stron

2012 rok

0+

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Niedostępne w sprzedaży

O książce

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka В. И. Шевякова, А. И. Мочалова i in. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
31 lipca 2014
Data napisania:
2012
Objętość:
280 str.
ISBN:
978-5-9963-2569-6
Całkowity rozmiar:
7.4 МБ
Całkowita liczba stron:
280
Szkic
Средний рейтинг 4,8 на основе 276 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,7 на основе 12 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 876 оценок
Tekst, format audio dostępny
Средний рейтинг 4,8 на основе 1171 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5111 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,9 на основе 160 оценок
Szkic
Средний рейтинг 4,5 на основе 43 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 958 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,6 на основе 216 оценок