Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Tekst PDF

Objętość 280 stron

2012 rok

0+

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Niedostępne w sprzedaży

O książce

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka В. И. Шевякова, А. И. Мочалова i in. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
31 lipca 2014
Data napisania:
2012
Objętość:
280 str.
ISBN:
978-5-9963-2569-6
Całkowity rozmiar:
7.4 МБ
Całkowita liczba stron:
280
Szkic
Średnia ocena 4,8 na podstawie 48 ocen
Tekst, format audio dostępny
Średnia ocena 4,7 na podstawie 364 ocen
Audio
Średnia ocena 4,2 na podstawie 752 ocen
Tekst, format audio dostępny
Średnia ocena 4,9 na podstawie 128 ocen
Tekst, format audio dostępny
Średnia ocena 4,7 na podstawie 28 ocen
Tekst
Średnia ocena 5 na podstawie 75 ocen
Tekst, format audio dostępny
Średnia ocena 4,7 na podstawie 827 ocen