Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Формирование функциональных слоев
Tekst PDF

Czas trwania książki 92 strony

2020 rok

0+

Формирование функциональных слоев

Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

399 ₽
8,30 zł

O książce

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka «Формирование функциональных слоев» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
27 czerwca 2023
Data napisania:
2020
Objętość:
92 str.
ISBN:
978-5-7038-5350-4
Całkowity rozmiar:
11 МБ
Całkowita liczba stron:
92
Właściciel praw:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 3 оценок
Tekst
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 5 на основе 1 оценок