Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Белоруссия и город Минск, вместе с Зеленоградом и Воронежем, являлись регионами бывшего СССР с развитой электронной промышленностью. Например, предприятие Изовак. От разработки и производства интегральных микросхем – ИМС (БИС, СБИС), до производства технологического оборудования для проведения технологических процессов для изготовления микроструктур ИМС. Один из рецензентов этой книги – знаменитый академик НАН Белоруссии В.А. Лабунов – предложил ещё в 1980-е году принятую сейчас повсеместно концепцию кластерного производства ИМС – «бочка Лабунова». При кластерном построении технологического оборудования и технологического маршрута обрабатываемой подложки в нём, организуется замкнутая вакуумная транспортная система, обеспечивающая роботизированное перемещение обрабатываемой подложки ИМС между технологическими и аналитическими модулями в химически чистой вакуумной среде из которой убрана внешняя атмосфера и, самый главный загрязнитель, человек, то есть его пот, дыхание, слёзы – источник натрия (Na) и вредной загрязняющей органики. Кластерное технологическое оборудование разработки и производства белорусского предприятия Изовак продаётся через совместное предприятие на Тайване в КНР, где используется для формирования многослойных прозрачных диэлектрических слоёв на стёклах для смартфонов и айфонов, которыми, в свою очередь, все мы пользуемся. Материал, изложенный в этой книге в высшей степени достоверен и актуален. И ещё долго останется таким достоверным и актуальным. Для всех, кто занимается исследованием, разработкой и развитием производства микроструктур и наноструктур ИМС, эта книга очень полезна.