Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 51 str.
- Kategoria: produkcja przyrządów, literatura techniczna, podręczniki, w tym dla szkoły wyższej, elektronika
Opis książki
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 16 stycznia 2016
- Data powstania:
- 2006
- Rozmiar:
- 51 str.
- ISBN:
- 5-7038-2926-7
- Całkowity rozmiar:
- 2 MB
- Całkowity liczba stron:
- 51
- Rozmiar stron:
143 x 201 мм
- Prawa autorskie:
- МГТУ им. Н.Э. Баумана
"Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы