Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 69 str.
- Kategoria: produkcja przyrządów, podręczniki, w tym dla szkoły wyższej, elektronika
Opis książki
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 16 stycznia 2016
- Data powstania:
- 2013
- Rozmiar:
- 69 str.
- ISBN:
- 978-5-7038-3729-0
- Całkowity rozmiar:
- 2 MB
- Całkowity liczba stron:
- 69
- Rozmiar stron:
148 x 210 мм
- Prawa autorskie:
- МГТУ им. Н.Э. Баумана
"Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы