Основной контент книги Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Tekst PDF
Objętość 69 stron
2013 rok
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
399 ₽
5,33 zł
O książce
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Zaloguj się, aby ocenić książkę i zostawić recenzję
Książka «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+Data wydania na Litres:
16 stycznia 2016Data napisania:
2013Objętość:
69 str. ISBN:
978-5-7038-3729-0Całkowity rozmiar:
2.9 МБCałkowita liczba stron:
69Właściciel praw:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
