Основной контент книги Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Tekst PDF

Objętość 257 stron

2014 rok

0+

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

4,4
3 oceny
16,68 zł

O książce

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.

Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.

Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.

Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka Л. А. Сейдман, Е. В. Берлина «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением» — pobierz w formacie pdf lub czytaj online. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
19 marca 2015
Data napisania:
2014
Objętość:
257 str.
ISBN:
978-5-94836-369-1
Całkowity rozmiar:
17 МБ
Całkowita liczba stron:
257
Właściciel praw:
Техносфера
Format pobierania:
Tekst, format audio dostępny
Средний рейтинг 5 на основе 2452 оценок
Tekst
Средний рейтинг 3,7 на основе 11 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,7 на основе 509 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,5 на основе 24 оценок
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 384 оценок
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 502 оценок