Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Ионно-плазменная обработка материалов
Tekst PDF

Objętość 181 stron

2008 rok

0+

Ионно-плазменная обработка материалов

Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

399 ₽
31,65 zł

O książce

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова «Ионно-плазменная обработка материалов» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data wydania na Litres:
28 marca 2018
Data napisania:
2008
Objętość:
181 str.
Całkowity rozmiar:
3.2 МБ
Całkowita liczba stron:
181
Właściciel praw:
МИСиС
Szkic, format audio dostępny
Средний рейтинг 4,9 на основе 31 оценок
Szkic
Средний рейтинг 4,4 на основе 29 оценок
Szkic
Средний рейтинг 4,7 на основе 6 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 1010 оценок
Szkic
Средний рейтинг 4,9 на основе 200 оценок
18+
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 14 оценок
Tekst, format audio dostępny
Средний рейтинг 4,7 на основе 964 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 125 оценок
Tekst, format audio dostępny
Средний рейтинг 4,5 на основе 49 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,9 на основе 306 оценок