Элионная технология в микро- и наноиндустрии
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 157 str.
- Kategoria: inna literatura edukacyjna, elektronikaEdytuj
Opis książki
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 28 marca 2018
- Data powstania:
- 2008
- Rozmiar:
- 157 str.
- Całkowity rozmiar:
- 9 MB
- Całkowity liczba stron:
- 157
- Rozmiar stron:
149 x 210 мм
- Prawa autorskie:
- МИСиС
"Элионная технология в микро- и наноиндустрии" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы