Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

PDF
0
Recenzje
Oznacz jako przeczytane
Jak czytać książkę po zakupie
  • Czytaj tylko na LitRes "Czytaj!"
Opis książki

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.

Szczegółowe informacje
Ograniczenie wiekowe:
0+
Data dodania do LitRes:
27 marca 2018
Data powstania:
2007
Rozmiar:
18 str.
Całkowity rozmiar:
0 MB
Całkowity liczba stron:
18
Rozmiar stron:
149 x 210 мм
Prawa autorskie:
МИСиС
"Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.

Отзывы

Сначала популярные

Оставьте отзыв