Сенсорная электроника, датчики: твердотельные сенсорные структуры на кремнии. Учебное пособие для вузов

Курс «Твердотельные сенсорные структуры на кремнии» посвящен изложению анализу фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов c различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах. Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с «активными» в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками (SiO2, полиамид) и оксидами металлов (WO3, SnO2, PdO, NiO), которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств. Содержание соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям.