Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
PDFOznacz jako przeczytane
- Rozmiar: 123 str.
- Kategoria: pomoce dydaktyczne, elektronikaEdytuj
Opis książki
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.
Szczegółowe informacje
- Ograniczenie wiekowe:
- 0+
- Data dodania do LitRes:
- 29 marca 2018
- Data powstania:
- 2012
- Rozmiar:
- 123 str.
- Całkowity rozmiar:
- 23 MB
- Całkowity liczba stron:
- 123
- Rozmiar stron:
149 x 210 мм
- Prawa autorskie:
- МИСиС
"Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций" — przeczytaj darmowy fragment online. Zamieszczaj komentarze, recenzje i głosuj na swoje ulubione.
Оставьте отзыв
Отзывы