Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Tekst PDF
Objętość 285 stron
2013 rok
Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Część serii «Нанотехнологии»
Niedostępne w sprzedaży
O książce
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина i in. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
12+Data wydania na Litres:
31 lipca 2014Data napisania:
2013Objętość:
285 str. ISBN:
978-5-9963-2129-2Całkowity rozmiar:
5.2 МБCałkowita liczba stron:
285Właściciel praw:
Лаборатория знаний