Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Tekst PDF

Objętość 285 stron

2013 rok

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Czytaj tylko na Litres

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Niedostępne w sprzedaży

O książce

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 4 на основе 3 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 5 на основе 1 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 3,4 на основе 5 оценок
Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина i in. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
12+
Data wydania na Litres:
31 lipca 2014
Data napisania:
2013
Objętość:
285 str.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Całkowity rozmiar:
5.2 МБ
Całkowita liczba stron:
285