Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Tekst PDF

Czas trwania książki 285 stron

2013 rok

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

Książki nie można pobrać jako pliku, ale można ją czytać w naszej aplikacji lub online na stronie.

Niedostępne w sprzedaży

O książce

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Zaloguj się, aby ocenić książkę i dodać recenzję
Książka А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина i in. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — czytaj online na stronie. Zostaw komentarze i recenzje, głosuj na ulubione.
Ograniczenie wiekowe:
12+
Data wydania na Litres:
31 lipca 2014
Data napisania:
2013
Objętość:
285 str.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Całkowity rozmiar:
5.2 МБ
Całkowita liczba stron:
285
Szkic
Средний рейтинг 4,8 на основе 278 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,5 на основе 15 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 877 оценок
Tekst, format audio dostępny
Средний рейтинг 4,8 на основе 1172 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5111 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,9 на основе 160 оценок
Szkic
Средний рейтинг 4,5 на основе 43 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 960 оценок
Tekst
Средний рейтинг 4,6 на основе 219 оценок